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真空磁控溅射平面阴极靶

2020/9/14 16:17:31发布129次查看
  • 品牌:昊光机电
  • 提供加工定制:是
  • 型号:平面

 
平面溅射阴极
特点:
1、 采用独特的磁路设计,突破传统模式,更符合磁控溅射的理念。
2、 采用独特的结构设计,可以内置、外置,更符合使用要求。
3、 更高的溅射率,离子密度更强。
4、 更高的利用率,高达40%以上。
5、 尺寸范围:300-3000mm区间,保持一致的均匀性
6、使用范围:如ti、al、ni、cr、azo、ito等
应用领域:
半导体、mems、tft、ito、low-e玻璃、硬质涂层、装饰性膜层

深圳市昊光机电科技应用有限公司
李小姐
13316854872
:深圳市龙岗区坪地镇高桥产业区麻沙旭达工业区1栋
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